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籽晶在爐內(nèi)有效行程 | 2800mm |
| 上 傳 動(dòng) | 籽晶轉(zhuǎn)速范圍 | 2.0~30.0rpm |
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慢速：0.20~8.00mm/min |
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籽晶拉速 | 快速：＞500mm/min |
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晶升速度精度 | ＜2% |
| 動(dòng) 態(tài) 精 度 | 晶轉(zhuǎn)速度精度 | ＜2% |
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晶升爬行 | 升速0.5mm/min≤0.01mm |
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籽晶擺動(dòng)量 | 晶轉(zhuǎn)高轉(zhuǎn)速＜2mm |
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